就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對(duì)待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級(jí)無(wú)塵烘箱
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氮?dú)夂嫦洌艹涞嫦?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱（PI烤箱）真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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PI/BCB固化真空無(wú)氧烘箱的操作方法
來(lái)源:
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作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時(shí)間: 2022-09-15
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PI/BCB固化真空無(wú)氧烘箱操作方法
開(kāi)機(jī)前注意檢查，循環(huán)水是否打開(kāi)（壓力足夠），氮?dú)忾y門(mén)是否打開(kāi)（壓力足夠）
1.打開(kāi)設(shè)備電源開(kāi)關(guān)，人機(jī)界面啟動(dòng)；
2.在人機(jī)界面參數(shù)設(shè)定中編輯需求工藝；
3.返回主界面，選擇工藝序號(hào)；
4.選擇程式運(yùn)行，確認(rèn)運(yùn)行；
5.程序運(yùn)行結(jié)束，打開(kāi)箱門(mén)，拿出產(chǎn)品
6.關(guān)閉箱門(mén)。
PI/BCB固化真空無(wú)氧烘箱適用工藝：
PI固化厭氧烤箱用于用于PI/BCB/LCP固化，半導(dǎo)體封裝等，也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影等。
PI/BCB固化真空無(wú)氧烘箱技術(shù)性能：
內(nèi)腔尺寸：350*350*350/自定義
溫度范圍：RT+30～450℃；
溫度波動(dòng)度：±1℃；
控精度：0.1℃;
氧濃度：10ppm
真空度：100pa
降溫方式：快速降溫
操作方式：人機(jī)界面，智能型一鍵運(yùn)行；
內(nèi)膽材料:采用 #304鏡面不銹鋼制作；
外殼材料：采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑；
置換氣體：氮?dú)猓?/span>
電源：380v/50Hz，5KW；
支撐裝置：腳杯和萬(wàn)向輪；
廠商品牌：雋思。
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