就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級(jí)無塵烘箱
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氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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配有HMDS氣體檢測的HMDS烘箱有嗎
來源:
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作者:雋思環(huán)境半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時(shí)間: 2023-10-26
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配有HMDS氣體檢測的HMDS烘箱
HMDS烘箱用于光刻前基板的疏水性處理工藝。它是將HMDS（六甲基二硅胺烷）通過氣相沉積的方法均勻的涂布在基底表面，使基底表面接觸角增大，基底表面由親水性變?yōu)槭杷裕蜁?huì)增強(qiáng)光刻膠的粘附性。避免了顯影后光刻膠漂膠、裂膠的不良現(xiàn)象。
但是HMDS具有一定的傷害性，大量吸入會(huì)刺激與灼傷鼻子與呼吸道器官系統(tǒng)，會(huì)產(chǎn)生頭痛、呼吸困難、呼吸急銷遲促、咳嗽以及眼睛紅腫并感到眼睛來自刺痛與灼傷。所以，在使用過程中的安全性不容忽視。
我司HMDS烘箱獨(dú)特的設(shè)計(jì)原理，使得整個(gè)工藝過程都在密閉的回路中完成，并有效排出殘余氣體，同時(shí)具有HMDS實(shí)時(shí)監(jiān)測功能，具有泄露報(bào)J提示音。
溫度范圍：RT+10-200℃
真空度：≤1torr
操作方式：一鍵運(yùn)行
真空泵：無油渦旋真空泵
容積：40L/90L/210L,可定制
產(chǎn)品兼容性：2~12寸晶圓及碎片、方片等
適用行業(yè)：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。
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