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精密無氧化烘箱剖析
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發(fā)布時間: 2018-05-12 | 2957 次瀏覽 | 分享到:

精密無氧烘箱的名稱
     無氧烘箱也稱為無氧化烘烤（烤）箱、防氧化烘箱、厭氧烘（烤）箱，無塵無氧烘（烤）箱，高溫固化烘箱等。主要是提供一種高溫且氧含量很低的烘烤空間，防止產(chǎn)品在高溫烘烤、固化等工藝時產(chǎn)生氧化。
精密無氧烘箱的原理：
無氧：采用惰性氣體（常用氮氣）置換腔內(nèi)氣體，達到氧濃度極低的環(huán)境；具有氧含量分析儀，全程檢測氧含量值，實時顯示
         并 記錄。
高溫：電加熱器提供高溫的環(huán)境；
降溫：水冷、風冷可單獨采用一種或兩種降溫方式輔助降溫，使得降溫速率加快，提高生產(chǎn)效率，節(jié)約時間；
操作：無氧烘箱采用人機交互+PLC的控制方式，智能、快速、一鍵操作方式。
精密無氧烘箱的技術性能：
內(nèi)部大?。撼Ｓ?W500mm×500mm×H500mm ，多尺寸可選擇、可定制
材料：  外部箱冷軋板噴塑，內(nèi)箱國際SUS304不銹鋼
溫度指標：  100-400/500℃
溫度精度：  0.1℃
波動度：≤±1℃
均勻度： ≤1.5%℃
潔凈能力：可選class100，百級潔凈度   
低氧指標：  氧含量≤ 20ppm  
數(shù)據(jù)記錄：  氧含量記錄，多點溫度記錄
智能操作： 人機界面+PLC，可程式/定制運行，大屏顯示、一鍵操作
產(chǎn)品支架： 2層