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高溫?zé)o氧烘箱在濕敏薄膜制作工藝的應(yīng)用

來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時間: 2022-05-28 | 1108 次瀏覽 | 分享到:

高溫?zé)o氧烘箱在濕敏薄膜制作工藝的應(yīng)用

在聚酰亞胺（polymide, PI）柔性襯底上制作濕度傳感器，PI是常見的柔性傳感器基底材料，具有化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐高溫、與電極材料結(jié)合力好的優(yōu)點。加工方法為將基底溶液聚酰胺酸懸涂在制備有犧牲層的載體硅片上，采用MEMS工藝制作濕度敏感單元，本文制作的濕度傳感器采用“三明治”結(jié)構(gòu)，包括上電極、感濕層和下電極，上下電極均采用蒸鍍工藝，蒸鍍金作為電極；感濕膜為聚酰亞胺材料，采用旋涂的方法制備感濕層。

濕敏薄膜制作：將合成的聚酰亞胺前軀體聚酰胺酸旋涂在基底上，放入高溫?zé)o氧烘箱中，100℃保溫30min，以5℃/min的升溫速度升至150-180℃，保溫30min；再以5℃/min的升溫速度升至220-250℃保溫30min，再以5℃/min的升溫速度升至280-300℃保溫1 h最后升至350-380℃保溫1 h，再以3-8℃/min的降溫速度降至50-100℃完成聚酰亞胺濕敏材料的固化，濕敏膜厚度2μm.

高溫?zé)o氧烘箱

工作室尺寸:W500mm×500mm×H500mm.可定制

溫度范圍：RT+50～450℃

分辨率：0.1℃

波動度：≤±1℃

溫度均勻度：≤±1.5%℃

潔凈度：Class100/class1000

升溫速率：1～10℃/min

降溫速率：高溫降溫至80度平均約4.0℃/min

氧含量：≤20ppm

操作方式：人機界面+PLC，程式工藝一鍵運行，可保存多個工藝

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