就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對(duì)待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級(jí)無塵烘箱
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氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦?/div>
來源:
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作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時(shí)間: 2015-11-18
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晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦洌?/span>
晶圓退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區(qū)域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對(duì)所述多個(gè)區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對(duì)多個(gè)區(qū)域采用氮?dú)獗Ｗo(hù)，該氮?dú)夂嫦?/a>采用輔助降溫方式進(jìn)行降溫處理。
晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦浼夹g(shù)性能：
1 工作室尺寸 W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制
2 材質(zhì) 內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑
3 溫度范圍 RT+50-550℃
4 控溫精度 +1
5 溫度波動(dòng)度 ≤±1℃
6 溫度均勻度 ≤1.5%
7 潔凈度 class100/class1000/無要求
8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ
9 升溫速度 1-10℃/min可調(diào)
10降溫方式 風(fēng)冷降溫/水冷
11氧含量 氧含量≤50ppm
12 數(shù)據(jù)輸出 氧含量分析儀，溫度記錄儀
13操作方式 彩色觸摸屏控制，可程式/定制運(yùn)行
14 樣品架 2層不銹鋼沖孔托盤
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