就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對(duì)待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級(jí)無(wú)塵烘箱
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氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱（PI烤箱）真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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選擇HMDS烘箱注意事項(xiàng)
來(lái)源:
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作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時(shí)間: 2020-04-13
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選擇HMDS烘箱的容積
內(nèi)腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均適用，4寸晶圓可處理200P/次；
HMDS烘箱真空泵的選擇
根據(jù)腔體容積，選配合適型號(hào)的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。
◆ 全無(wú)油泵，不會(huì)污染真空系統(tǒng)
◆ 采用獨(dú)立馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計(jì)
◆ 體積小巧
◆ 具有更低的極限壓強(qiáng)
◆ 無(wú)任何可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機(jī)械部件
◆ 低噪聲，低振動(dòng)
3.HMDS烘箱輔助功能選擇：
◆HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能
◆HMDS低液位報(bào)警提示功能
◆工藝數(shù)據(jù)記錄功能
◆藥液管道預(yù)熱功能
◆程序鎖定保護(hù)等功能
HMDS烘箱也稱(chēng)為智能型HMDS真空系統(tǒng)通過(guò)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
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