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個產(chǎn)品,

對待每一

做到極致認(rèn)真

每一個零件
細(xì)

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
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  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
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潔凈烘箱,百級無塵烘箱
    發(fā)布時間: 2022-05-18 15:03    

潔凈烘箱,百級無塵烘箱用途:

  潔凈烘箱,百級無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

潔凈烘箱,百級無塵烘箱特點:
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好;

4.HEPA過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。最小限度控制風(fēng)速距離過濾效率99.99%;

5.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到高溫度控制精度。

潔凈烘箱,百級無塵烘箱技術(shù)參數(shù):

無塵等級:Class100;     

溫度范圍:RT~300/450℃;
溫度均勻度:200℃±2℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載)        
溫控精度:±0.1℃;        

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×500

600×700×800(可定制)        
電源:380v , 50Hz   

網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

可擴展功能:

氧濃度檢測,無塵無氧烘箱

智能聯(lián)網(wǎng)功能,MES等工業(yè)自動化軟件

掃碼槍,掃碼溯源,一鍵讀取

自動門控,上位機程控,機械手搬運產(chǎn)品





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