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就

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態(tài)

度

，


個產(chǎn)品，

對待每一

做到極致認(rèn)真

每一個零件
細(xì)
致

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
  • 潔凈烘箱，百級無塵烘箱
  • 氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>
  • LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
  • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
  • 真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
  • 精密烤膠臺，高精度烘膠機(jī)
  • 超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵
    發(fā)布時間: 2023-12-13 10:54    

HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵

真空干泵具有 靜音<50dBA)和低振動運(yùn)行的，

密封設(shè)計(jì)(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風(fēng)險。

極限壓力：1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)

最大入口壓力：1.0 個大氣壓(0 psig)

冷卻 方式：風(fēng)冷

泵凈重: 34 q (75 bs);含包裝: 45 kg(100bs)

尺寸 (高x寬x長(mm))：364x 333x 485

泄漏速度(密封排氣口時)：< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)

HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵用途


HMDS烘箱的作用

   HMDS烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。從而增強(qiáng)光刻與襯底表面的粘附性。

HMDS烘箱性能

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤1torr

控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便

HMDS工藝：蒸汽氣相涂布

安全檢測：超溫保護(hù)，HMDS泄漏檢測提示

儲液瓶：HMDS儲液瓶

真空泵：無油渦旋真空泵

工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制