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BCB真空無氧爐  高溫固化管式爐應用

   應用于LCP纖維/膠熱處理、精密電子元件烘烤、晶圓退火、PI、BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

BCB真空無氧爐  高溫固化管式爐技術性能  

1、設備名稱: 智能BCB真空無氧爐

2、設備型號: JS-GYZF800-AI

3、設備主要技術參數(shù)                                              

3.1 設備尺寸mm: 恒溫區(qū)Φ185*400mm(可擴展)

3.2  材質 :內箱采用耐高溫石英管，外箱采用優(yōu)質冷軋板噴塑

3.3 溫度范圍: 100-800℃(可擴展)

3.4 溫度均勻度: ≤±3℃, K分度絲.增加管內三點測溫熱偶， 用于石英管內監(jiān)控。

3.5 溫度波動度: ≤±1℃

3.6 電源: AC 380V±10%/50HZ，27.0KW

3.7 升溫速度: 1-15℃/min(可擴展)

3.8降溫速率: 1-5℃/min(可擴展)

3.9氧含量: 氧含量≤10ppm,配有氧分析儀，工藝全程檢測

3.10 真空度: 極限真空≤10Pa，采用進口（品牌：安捷倫）無油渦旋真空泵

3.11 降溫方式: 風冷+水冷

3.12 氣體控制 :氮氣流量計+減壓閥閥，實現(xiàn)最小氮氣消耗量

3.13 密封件: 采用耐高溫無塵密封圈，具有水冷保護系統(tǒng)

3.14 數(shù)據(jù)輸出: 氧含量監(jiān)測,溫度記錄、歷史曲線查看(可擴展)

3.15 操作方式 :人機界面+PLC，多段程序運行

3.16 密封性能: 漏氣率≤1X10-7Pa ·m3／s

3.17 安全保護:安全的接地保護，超溫保護，漏電保護，超溫報警、斷偶報警、真空故障報警、真空室壓力異常報警等