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態(tài)


個產(chǎn)品,

對待每一

做到極致認真

每一個零件

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮氣烘箱
  • 熱風循環(huán)真空烘箱,高溫熱風真空烤箱
  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
  • 真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱
  • 精密烤膠臺,高精度烘膠機
  • 超低溫試驗箱,零下-120度高低溫箱
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產(chǎn)  品  中  心

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墨點烘箱,墨點氮氣烘箱
    發(fā)布時間: 2023-10-13 11:42    

墨點烘箱,墨點氮氣烘箱的來源

   隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,芯片的集成度也隨之不斷提高,使得芯片的制作工藝日趨復(fù)雜。為了保證較高的成品率,對整個芯片加工工藝流程和裝置設(shè)備的要求就會更加嚴格。在曝光過程中,由于曝光系統(tǒng)一次曝光的面積大小是有限的,因此在曝光時會產(chǎn)生非完全曝光的芯片。工藝過程中,為了監(jiān)控過程工藝質(zhì)量,需要對這樣的非完整芯片進行標識。

   傳統(tǒng)的標識方法主要采用物理墨點的形式對非完整芯片進行標識,主要步驟為:在芯片完成過程工藝及測試后,將硅片放入物理墨點的設(shè)備,輸入專用程序,對第一顆非完整芯粒進行打墨點工藝,待打點完成后,將硅片放入烘箱進行墨點烘干操作。

墨點烘箱,墨點氮氣烘箱性能要求:

溫度范圍:RT+10~200℃;

溫度偏差:≤±2.0℃;
升溫速度:≤5℃/min;
內(nèi)部尺寸:

450×450×450mm(4)

500×500×550mm(6)

600×600×700mm(8)

可定制

電源:AC380V 50HZ  

輸入氣體:N2
氮氣烘箱結(jié)構(gòu):
箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼或冷軋板噴塑;
內(nèi)室材料:采用SUS304不銹鋼;
保溫材料:高性能環(huán)保陶瓷纖維; 
置物架:2層;
空氣循環(huán):強制循環(huán);


  氮氣烘箱適用于半導(dǎo)體、電子、液晶顯示、LCD、PCB,CMOS、IC、LCP、PI、BCB、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。潔凈烘箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗。